탄탈 질화물 (TaN) - 초본 표적

특성

탄탈륨 질화물 (황갈색)은 탄탈륨의 질화물 인 화합물입니다. TA에서 화합물의 여러 단계가 있습니다.₂n ta.₃N₅황갈색을 포함 해.

화학 공식 : 황갈색

몰 질량 : 194.955 g / mol

외관 : 블랙 크리스탈

밀도 : 14.3 g / cm.³

융점 : 3,090 ° C (5,590 ° F, 3,360 k)

물의 용해도 : 불용성

크리스탈 구조 : 육각형, HP6.

애플리케이션

구리 사이 또는 다른 전도성 금속 사이의 확산 장벽 또는 \"접착제 \"층을 생성하기 위해 일류 회로 제조에서 때때로 사용됩니다. 베올 가공의 경우 (C. 20 nm)의 경우, 구리는 첫 번째 기상 증착 (PVD)을 사용하여 탄탈륨으로 첫 번째 코팅 된 다음 Tan으로 코팅됩니다. 이 장벽 코팅 된 구리는 기계적으로 처리되기 전에 PVD에 의해 PVD에 의해 더 많은 구리로 코팅되고, 전해로 코팅 된 구리로 냉각시킨다.

또한 박막 저항에도 적용됩니다. 그것은 습기에 내성이있는 부동화 산화막을 형성하는 니크롬 저항기에 대한 이점이있다.

탄탈륨 질화물 - msds.pdf.