티타늄 실리사이드(Ti5Si3)-분말

제품 설명

특성

티타늄 디실리사이드(Ti5Si3)는 무기 화합물입니다.


화학식: Ti5Si3

공식 중량: 323.76g/mol

녹는점: 2130°C

감도: 주변 온도.

용해도: 불산에 용해.물에 불용성.


애플리케이션

CMOS 집적 회로에서 소스, 게이트 및 드레인 접점과 로컬 상호 연결로 사용됩니다.C54 단계에서 사용됩니다.


MSDS

티타늄 알루미늄 합금(TiAl(10:90 at%))-스퍼터링 타겟

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