할라이드 세라믹 스퍼터링 대상

• 마그네슘 플루오 라이드 (DFM) (MgF2) - 초본 표적
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• Lanthanum Fluoride (LaF3) - 초본 표적
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• 바륨 불화물 (BaF2) - 초본 표적
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• 세륨 불화물 (CeF3) - 초본 표적
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• 칼슘 불화물 (CaF2) - 초본 표적
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• 불화리튬(LiF)-스퍼터링 타겟
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• 불화나트륨(NaF)-스퍼터링 타겟
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• 나트륨 이트륨 플루오라이드(NaYF4)-스퍼터링 타겟
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• 불화아연(ZnF2)-스퍼터링 타겟
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• 이테르븀 플루오라이드(YbF3)-스퍼터링 타겟
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