금속 합금
- 알루미늄 네오디뮴 합금 (AlNd) - 초본 표적
- 티타늄 알루미늄 바나듐 주석 합금 (Ti-6Al-6V-2Sn) - 폴더
- 티타늄 코발트 합금 (TiCo (97 : 3 wt %)) - 스퍼터링 대상
- 티타늄 니켈 합금 (TiNi (50:50 wt %)) - 스퍼터링 대상
- 니켈 이트륨 합금 (NiY) - 펠렛
- 니켈 몰리브덴 (NiMo (85:15 at %)) - 스퍼터링 대상
- 지르코늄 망간 합금 (ZnMn) - 초본 대상
- 니켈 몰리브덴 텅스텐 (NiMoW (84/8/8 wt %)) - 스퍼터링 대상
- 니켈 니오브 탄탈 합금 (NiNbTa (60/30/10 at %)) - 스퍼터링 대상
- 구리 티타늄 (CuTi) - 펠렛