다른 세라믹 스퍼터링 대상
- 리튬 코발트 산화물(LiCoO2)-스퍼터링 타겟
- 리튬 니켈 산화물(LiNiO2)-스퍼터링 타겟
- 리튬 니켈 망간 코발트 산화물(LiNixMnyCo1-x-yO2)-스퍼터링 타겟
- 리튬 니켈 코발트 산화물(LiNixCo1-xO2)-스퍼터링 타겟
- 리튬 란탄 티타늄 산화물(Li0.5La0.5TiO3)-스퍼터링 타겟
- 리튬 란타늄 산화지르코늄(Li7La3Zr2O12)-스퍼터링 타겟
- 리튬 탄탈산 (LiTaO3) - 초본 표적
- 구리 알루미네이트(CuAl2O4)-스퍼터링 타겟
- 란탄 스트론튬 페라이트 (La0.8Sr0.2FeO3) - 초본 대상
- 란탄 산화철 (LaFeO3) - 초본 표적