희토류 합금 스퍼터링 대상
- 네오디뮴 자석 (Nd2Fe14B) - 초본 대상
- 팔라듐 이트륨 합금 (PdY) - 초본 대상
- 이트륨 철 합금 (YFe) - 초본 대상
- YTTERBIUM 코발트 안티 모니드 (YbCoSb) - 초본 대상
- 테르븀 철 합금 (TbFe (45 / 55at %)) - 스퍼터링 대상
- Terbium Dysprosium Iron (Tb0.3Dy0.7Fe1.9) - 초본 대상
- 사마륨 철 (SmFe) - 초본 대상
- Samarium Aluminide (SmAl2) - 초본 표적
- 사마륨 코발트 (SM1Co5) - 초본 대상
- LANTHANUM 이트륨 합금 (LaY) - 초본 표적