루테늄 금속(Ru)-스퍼터링 타겟

특성

루테늄은 기호 Ru와 원자 번호 44를 가진 화학 원소입니다. 주기율표의 백금족에 속하는 희귀 전이 금속입니다.백금족의 다른 금속과 마찬가지로 루테늄은 대부분의 다른 화학 물질에 대해 불활성입니다.

STP에서의 상: 고체

녹는점: 2607K(2334°C, 4233°F)

끓는점: 4423K(4150°C, 7502°F)

밀도(실온 근처): 12.45g/cm³

액체 상태(mp): 10.65g/cm³

융해열: 38.59 kJ/mol

기화열: 619 kJ/mol

몰 열용량: 24.06 J/(mol·K)

애플리케이션

생산되는 대부분의 루테늄은 내마모성 전기 접점 및 후막 저항기에 사용됩니다.루테늄은 백금 합금과 화학 촉매로 사용됩니다.루테늄의 새로운 적용은 극자외선 포토마스크의 캡핑 층입니다.