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특성
실리콘은 스퍼터링 타겟 물질의 중요한 종류로, 주로 마그네트론 스퍼터링 도금 SiO2 및 SiN 유전층의 반응 시스템에 사용되며 중요한 기능성 박막 물질로서 경도, 광학 및 유전 특성 및 내마모성, 내식성 및 내마모성이 우수합니다. 광학, 마이크로 전자 공학 및 기타 분야의 다른 특성은 응용 가능성이 넓고 기능 재료는 국제적으로 널리 주목 받고 있습니다.
일반적으로 실리콘 타겟은 단결정과 다결정으로 나눌 수 있습니다.
애플리케이션
주로 광학 유리, 터치 스크린의 AR 필름 시스템, Low-E 코팅 유리, 반도체 전자, 평면 디스플레이, 터치 스크린에 사용되는 SiO2/Si3N4 필름을 만드는 데 사용됩니다.
특성
실리콘은 스퍼터링 타겟 물질의 중요한 종류로, 주로 마그네트론 스퍼터링 도금 SiO2 및 SiN 유전층의 반응 시스템에 사용되며 중요한 기능성 박막 물질로서 경도, 광학 및 유전 특성 및 내마모성, 내식성 및 내마모성이 우수합니다. 광학, 마이크로 전자 공학 및 기타 분야의 다른 특성은 응용 가능성이 넓고 기능 재료는 국제적으로 널리 주목 받고 있습니다.
일반적으로 실리콘 타겟은 단결정과 다결정으로 나눌 수 있습니다.
애플리케이션
주로 광학 유리, 터치 스크린의 AR 필름 시스템, Low-E 코팅 유리, 반도체 전자, 평면 디스플레이, 터치 스크린에 사용되는 SiO2/Si3N4 필름을 만드는 데 사용됩니다.
