질화 알루미늄 (AlN) - 초본 표적

특성

알루미늄 질화 알루미늄 (Aln)은 알루미늄의 고체 질화물입니다. 그것은 최대 285W / (m / k)의 높은 열전도율을 가지며 전기 절연체입니다. 그것의 Wurtzite 상 (W-Aln)는 실온에서 ~ 6eV의 밴드 갭을 가지며 깊은 자외선 주파수에서 작동하는 광전자 공학에 잠재적 인 적용을 갖는다.

화학 공식 : Aln.

몰 질량 : 40.989 g / mol.

외관 : 흰색으로 창백한 솔리드 솔리드

밀도 : 3.255 g / cm.³

융점 : 2,500 ° C (4,530 ° F, 2,770 k)

물의 용해도 : 가수 분해 (분말), 불용성 (단결정)

용해도 불용성, 염기 및 산의 수용액의 가수 분해의 대상

밴드 갭 : 6.015 eV.

전자 이동성 : ~ 300 cm.²/ (v · s)

열전도율 : 285 w / (m / k)

굴절률 (ND) : 2.1-2.2 (결정) 1.8-1.9 (비정질)

크리스탈 구조 : Wurtzite.

애플리케이션

에피 택셜 성장 된 박막 결정 성 알루미늄 질화물은 ALN의 압전 특성으로 인해 실리콘 웨이퍼 상에 증착 된 표면 음향 파 센서 (SAW)에 사용됩니다. 하나의 응용 프로그램은 얇은 필름 벌크 음향 공진기 (FBA)라고 불리는 휴대 전화에서 널리 사용되는 RF 필터입니다. 이것은 두 개의 금속층 사이에 샌드위치 된 질화 알루미늄을 사용하는 MEMS 장치입니다.

ALN은 또한 압전 미세 가공 초음파 트랜스 듀서를 제작하고 초음파를 방출 및 수신하는 초음파 변환기를 구축하고 미터까지의 거리에서 공기중인 거리에 사용할 수 있습니다.

금속 화 방법은 알루미나와 베릴륨 산화물과 유사한 전자 제품에 AlN을 사용할 수 있도록 할 수 있습니다. 탄소 나노 튜브가있는 등전품 인 무기 준 1 차원 나노 튜브로서 Aln Nanotubes는 유독 가스의 화학 센서로 제안되었습니다.

현재 질화 갈륨 기반의 반도체를 사용하여 자외선에서 작동하고, 합금 알루미늄 갈륨 질화물을 사용하여 자외선에서 작동하는 발광 다이오드가 개발되는 연구가 많이 있으며, 250 nm의 파장이 달성되었다. 2006 년에 210 nm의 비효율적 인 ALN LED 방출 이보고되었습니다.