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12033-62-4.
탠 껍질
730700cb.
99.5 %
5 mm w. x 5 mm h. x 5 mm d. NS
234-788-4.
특성
탄탈 질화물 (TaN)은 탄탈 질화물 인 화합물입니다. 화학 양 론적으로 Ta로부터 여러 단계의 화합물이 있습니다.2N에서 Ta3N5TaN 포함.
화학식 : TaN
몰 질량 : 194.955 g / mol
외관 : 블랙 크리스탈
밀도 : 14.3 g / cm3
녹는 점 : 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 K)
물에있는 용해도 : 불용성
결정 구조 : 육각형, hP6
신청
때때로 집적 회로 제조에서 구리 또는 기타 전도성 금속 사이에 확산 장벽 또는 \"접착 \"층을 생성하는 데 사용됩니다. BEOL 처리 (c. 20nm)의 경우 구리는 먼저 탄탈륨으로 코팅 된 다음 물리적 기상 증착 (PVD)을 사용하여 TaN으로 코팅됩니다. 이 배리어 코팅 구리는 PVD에 의해 더 많은 구리로 코팅되고 기계적으로 처리되기 전에 전해 코팅 된 구리로 채워집니다.
또한 박막 저항기에도 적용됩니다. 습기에 강한 부동 태화 산화막을 형성하는 니크롬 저항기에 비해 장점이 있습니다.
특성
탄탈 질화물 (TaN)은 탄탈 질화물 인 화합물입니다. 화학 양 론적으로 Ta로부터 여러 단계의 화합물이 있습니다.2N에서 Ta3N5TaN 포함.
화학식 : TaN
몰 질량 : 194.955 g / mol
외관 : 블랙 크리스탈
밀도 : 14.3 g / cm3
녹는 점 : 3,090 ° C (5,590 ° F; 3,360 K)
물에있는 용해도 : 불용성
결정 구조 : 육각형, hP6
신청
때때로 집적 회로 제조에서 구리 또는 기타 전도성 금속 사이에 확산 장벽 또는 \"접착 \"층을 생성하는 데 사용됩니다. BEOL 처리 (c. 20nm)의 경우 구리는 먼저 탄탈륨으로 코팅 된 다음 물리적 기상 증착 (PVD)을 사용하여 TaN으로 코팅됩니다. 이 배리어 코팅 구리는 PVD에 의해 더 많은 구리로 코팅되고 기계적으로 처리되기 전에 전해 코팅 된 구리로 채워집니다.
또한 박막 저항기에도 적용됩니다. 습기에 강한 부동 태화 산화막을 형성하는 니크롬 저항기에 비해 장점이 있습니다.
