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12067-57-1
Ti5Si3
221401PD
99.5%
-325 메쉬
235-082-9
클래스 4.1
UN3178
PG III
특성
티타늄 디실리사이드(Ti5Si3)는 무기 화합물입니다.
화학식: Ti5Si3
공식 중량: 323.76g/mol
녹는점: 2130°C
감도: 주변 온도.
용해도: 불산에 용해.물에 불용성.
애플리케이션
CMOS 집적 회로에서 소스, 게이트 및 드레인 접점과 로컬 상호 연결로 사용됩니다.C54 단계에서 사용됩니다.
특성
티타늄 디실리사이드(Ti5Si3)는 무기 화합물입니다.
화학식: Ti5Si3
공식 중량: 323.76g/mol
녹는점: 2130°C
감도: 주변 온도.
용해도: 불산에 용해.물에 불용성.
애플리케이션
CMOS 집적 회로에서 소스, 게이트 및 드레인 접점과 로컬 상호 연결로 사용됩니다.C54 단계에서 사용됩니다.
