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특성
티타늄 디실리사이드(TiSi2)은 무기 화합물입니다.
화학식: TiSi2
몰 질량: 104.038g/mol
외관: 흑색 사방정계 결정
밀도: 4.02g/cm3
융점: 1,470°C(2,680°F, 1,740K)
물에 대한 용해도: 불용성
용해도: HF에 용해
애플리케이션
티타늄 실리사이드는 반도체 산업에서 사용됩니다.일반적으로 로컬 트랜지스터 연결의 시트 저항을 줄이기 위해 실리콘 및 폴리실리콘 라인에 살리사이드 기술을 사용하여 성장합니다.마이크로 전자 산업에서는 일반적으로 C54 단계에서 사용됩니다.
특성
티타늄 디실리사이드(TiSi2)은 무기 화합물입니다.
화학식: TiSi2
몰 질량: 104.038g/mol
외관: 흑색 사방정계 결정
밀도: 4.02g/cm3
융점: 1,470°C(2,680°F, 1,740K)
물에 대한 용해도: 불용성
용해도: HF에 용해
애플리케이션
티타늄 실리사이드는 반도체 산업에서 사용됩니다.일반적으로 로컬 트랜지스터 연결의 시트 저항을 줄이기 위해 실리콘 및 폴리실리콘 라인에 살리사이드 기술을 사용하여 성장합니다.마이크로 전자 산업에서는 일반적으로 C54 단계에서 사용됩니다.
