세라믹 타겟 - 3 가지 주요 요소가 그것의 속성에 영향을 미치는 것

순결세라믹 타겟스퍼터링 필름의 성능에 큰 영향을 미칩니다. 순도가 높을수록 스퍼터링 필름의 균일 성과 배치 제품의 품질이 우수합니다. 또한 고성능 세라믹 표적을 준비하기 위해서는 주로 성형 방법, 원료 크기, 소결 효과를 포함하여 이러한 요소를 제어해야합니다. 오늘날 세라믹 표적의 성능에 영향을 미치는 주요 요인을 분석하는 것입니다.

성형 방법

세라믹 표적의 다공성을 감소시키고 박막의 특성을 향상시키기 위해서는 스퍼터링 세라믹 표적의 고밀도가 요구된다. 낮은 다공성, 고밀도는 세라믹 몸체의 입자가 밀접하게 배열되어 있으며 외부 하중이나 부식성 물질을 가질 때 파괴적인 혁신을 형성하는 것은 쉽지 않습니다. 성형 방법은 칼슘 밀도 세라믹 배아를 얻는 열쇠이다. 세라믹 타겟은 일반적으로 드라이 프레싱, 등압 누름, 뜨거운 다이 캐스팅 및 기타 방법으로 형성됩니다. 다른 방법은 다른 특성을 가지며 경화 속도 세라믹의 소결 및 미세 구조에 상이한 영향을 미친다.

원료의 세분성

원료의 입자 크기는 세라믹 표적에 의해 형성된 필름의 품질에 큰 영향을 미친다. 원료가 충분히 미세한 경우에만 최종 발사 제품은 미세 구조를 형성하고 좋은 내마모성을 가질 수 있습니다. 분말 입자, 더 괜찮을수록 활성이 클수록 소결, 도자기 강도가 더 높을 수 있으며, 도두골의 강도가 더 높아서 작은 입자로 만들어져 스트레스 농도로 인한 입계의 유리상의 유리상의 유리상의 유리 상과 다른 선형 팽창 계수로 이루어질 수 있습니다. 분해의 위험을 줄이고, 미세 곡물은 또한 분쇄 된 골절에서 쉽지 않은 미세 균열의 발달을 방해 할 수 있으며, 골절 인성을 향상시키는 것이 유리하다는 것이 바람직하고, 내마모성을 향상시킬 수있다.

소결

세라믹 소결의 경우, 단순히 말하기는 고온에서 세라믹 그린 빌렛의 치밀화 과정입니다. 온도와 시간이 증가함에 따라 분말 입자 사이의 결합이 발생하여 소결체의 강도가 증가하고, 분말 입자의 응집체가 특정 미세 구조를 갖는 강한 다결정 소결체로 증가시키고, 생성물의 요구 물리적 및 기계적 성질을 얻거나, 재료. 샘플의 치밀화 속도 및 최종 구조는 종종 겪은 열처리가 어떤 종류의 열처리를 반영합니다.