스퍼터링 대상이있는 이유는 무엇입니까?

WHY를 묶는 것S.퍼터링 대상?

스퍼터링 타겟주로 집적 회로, 정보 저장, 액정 디스플레이, 레이저 메모리, 전자 제어 장치 등과 같은 전자 정보 산업에서 사용됩니다. 유리 코팅, 내마모성 재료, 고온 내식성, 고온 내식성, 높은 - 등급 장식 제품 및 기타 산업.

본딩은 솔더로 백 타겟으로 타겟을 본딩하는 것을 말합니다. 크림 핑, 브레이징 및 전도성 접착제의 세 가지 주요 방법이 있습니다. 납땜은 일반적으로 표적 결합에 사용되며, 인듐, 주석 및 인듐 주석은 일반적으로 솔더에 사용됩니다. 스퍼터링 전원은 일반적으로 20W /㎡.

왜 우리는 백 타겟을 바인딩합니까?

1. ITO, 실리카 및 세라믹과 같은 취성 표적 및 소결 된 표적과 같은 목표물의 고르지 않은 균열을 방지합니다.

2. 비용을 절약하고 변형을 방지하십시오. 대상이 너무 비싸다면 대상을 얇게 만들고 왜곡을 방지하기 위해 백 타겟을 접착시킵니다.

뒤 표적

1. 산소가없는 구리는 우수한 전기 전도성과 열전도도를 갖는다.

2. 적당한 두께, 일반적으로 약 3mm의 백 목표 두께를 권장합니다. 너무 두꺼운 경우, 그것은 자기장 강도의 일부를 소비합니다. 너무 얇고 쉽게 변형됩니다.

바인딩 프로세스

1. 전면 대상 및 백 타겟 표면의 결합 된 전처리

2. 목표물과 백 타겟을 용접 테이블에 놓고 온도를 용접 온도로 올리십시오.

3. 금속 화 된 대상 및 백 피드 타겟.

4. 접착제 대상과 뒤 표적

5. 냉각 및 후 처리