오산화탄탈륨(Ta2O5)-스퍼터링 타겟

특성

탄탈륨(V) 산화물로도 알려진 오산화탄탈륨은 화학식 Ta의 무기 화합물입니다.₂O₅.그것은 모든 용매에 녹지 않지만 강염기와 불산에 의해 공격받는 백색 고체입니다.고마워₂O₅굴절률이 높고 흡수율이 낮은(즉, 무색) 불활성 물질로 코팅에 유용합니다.또한 유전율이 높기 때문에 커패시터 생산에 광범위하게 사용됩니다.

화학식: 타₂O₅

몰 질량: 441.893g/mol

성상: 백색, 무취의 분말

밀도: β-Ta2O5 = 8.18g/cm³

α-Ta2O5 = 8.37g/cm³

융점: 1,872°C(3,402°F, 2,145K)

물에 대한 용해도: 무시할 수 있음

용해도: 유기 용매 및 대부분의 무기산에 불용성, HF와 반응

밴드 갭: 3.8 - 5.3 eV

자화율(χ)：−32.0·10^-6센티미터³/몰

굴절률(nD)：2.275

애플리케이션

전자 제품

높은 밴드 갭과 유전 상수 때문에 탄탈륨 오산화물은 전자 제품, 특히 탄탈륨 커패시터에서 다양한 용도로 사용됩니다.이들은 자동차 전자 제품, 휴대 전화 및 호출기, 전자 회로에 사용됩니다.박막 부품;및 고속 도구.1990년대에는 DRAM 커패시터 애플리케이션을 위한 고유전율 유전체로 탄탈륨 산화물의 사용에 대한 관심이 높아졌습니다.

고주파 CMOS 집적 회로용 온칩 금속 절연체 금속 커패시터에 사용됩니다.탄탈륨 산화물은 비휘발성 메모리의 전하 트래핑 층으로 응용될 수 있습니다., 저항성 스위칭 메모리에 탄탈륨 산화물의 응용이 있습니다.

기타 용도

높은 굴절률로 인해 Ta₂O₅사진 렌즈의 유리 제조에 사용되었습니다.

Ta2O5_MSDS.pdf