진공 코팅의 증발원의 재료 요구 사항은 무엇입니까?

일반적으로 증발원의 재료와 모양을 고려해야합니다. 그 일반적인 요구 사항증발 원료 재료이다:

높은 융점

증발 물질의 증발 온도 (평형 증기압 1.3Pa의 온도)는 대부분 1000 ~ 2000 ℃이므로, 증발 원 재료의 융점은이 온도보다 높아야한다.

균형 증기 압력

주요 목적은 고온 증발 물질 하에서 증발원 재료를 방지하거나 감소시키고 불순물이 증발 코팅층에 불순물이된다. 증발 중에 가장 작은 자체 증발이 가능하도록 기압의 균형이 충분히 낮을만큼 충분히 낮을 때만 증발 원료 물질에서는, 증발원 재료의 양을 매우 적게, 증발의 양을 만들기 위해서는 시스템 진공 및 오염 막 층에 영향을 미치지 않는다. 온도, 증발 원료 소재 선택은 증발 온도의 재료가 증발 원료보다 낮아야합니다. 1.3 × 10-3Pa에 해당하는 온도는 1.3 × 10-3Pa에 해당하는 온도를 사용하여 고품질을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 영화.

안정된 화학 물질

증발 물질과의 화학 반응은 고온에서 발생하지 않아야합니다. 고온에서, 일부 증발 소스 재료는 화합물 및 합금을 형성하기 위해 증발 물질과 반응 및 확산된다. 특히 낮은 공융 합금 증발원은 연소가 쉽습니다. 예를 들어 탄탈륨과 금은 고온에서 합금을 형성하고 알루미늄, 철, 니켈, 코발트는 텅스텐, 몰리브덴, 탄탈륨 및 기타 증발 물질을 갖는 합금을 형성 할 것입니다. 텅스텐은 또한 물이나 산소와 반응하여 WO, WO2 또는 WO3과 같은 휘발성 산화물을 형성 할 수 있습니다. 몰리브덴은 또한 물이나 산소와 반응하여 휘발성 Moo3 등을 형성 할 수 있으므로, 피막염과 반응하지 않거나 합금을 형성하여 재료의 증발원 재료를 수행하는 재료를 선택해야합니다.

증발 원천으로 사용되는 재료는 고온 냉각 후 높은 융점, 낮은 휘발 및 낮은 취성을 가져야합니다. 일반적으로 사용되는 선형 증발원은 증발 금속 위상으로 습윤시킬 수 있어야하며 융점은 금 도금의 증발 온도보다 훨씬 큽니다. 금도금 합금과 반응하지 않습니다.