텅스텐 실리사이드(WSi2)-스퍼터링 타겟

특성

텅스텐 실리사이드(WSi₂)은 텅스텐의 규화물인 무기화합물이다.전기 전도성 세라믹 재료입니다.

화학식: WSi₂

몰 질량: 240.011g/mol

성상: 청회색 정방정

밀도: 9.3g/cm³

융점: 2160°C(3,920°F, 2,430K)

물에 대한 용해도: 불용성

애플리케이션

저항이 60-80 μΩ cm인 접촉 재료로 마이크로일렉트로닉스에서 사용됩니다.1000 °C에서 형성됩니다.전도성을 높이고 신호 속도를 높이기 위해 폴리실리콘 라인의 션트로 자주 사용됩니다.텅스텐 실리사이드 층은 예를 들어 소스 가스로서 육불화 텅스텐과 함께 모노실란 또는 디클로로실란을 사용하여 화학 기상 증착에 의해 제조될 수 있습니다.증착된 필름은 비화학량론적이며 더 전도성인 화학량론적 형태로 변환하기 위해 어닐링이 필요합니다.텅스텐 실리사이드는 이전 텅스텐 필름을 대체합니다.텅스텐 실리사이드는 실리콘과 다른 금속(예: 텅스텐) 사이의 장벽 층으로도 사용됩니다.

텅스텐 실리사이드는 또한 마이크로 전기기계 시스템에서 사용하기에 가치가 있으며, 마이크로스케일 회로의 제조를 위한 박막으로 주로 적용됩니다.이러한 목적을 위해 텅스텐 실리사이드 필름은 예를 들어 삼불화질소 가스를 사용하여 플라즈마 에칭될 수 있습니다.

WSi₂내산화성 코팅으로 응용 분야에서 잘 수행됩니다.특히, 몰리브덴 디실리사이드와 유사하게 MoSi₂, 텅스텐 디실리사이드의 높은 방사율은 이 물질을 열 차폐와 함께 고온 복사 냉각에 매력적으로 만듭니다.

텅스텐 실리사이드-MSDS.pdf