실리사치 세라믹 스퍼터링 대상

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• 바나듐 실리사이드(VSi2)-스퍼터링 타겟
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• 티타늄 실리사이드(TiSi2)-스퍼터링 타겟
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• 텅스텐 실리사이드(WSi2)-스퍼터링 타겟
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• 탄탈륨 실리사이드(TaSi)-스퍼터링 타겟
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• 하프늄 실리사이드(HfSi2)-스퍼터링 타겟
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• 몰리브덴 실리사이드(MoSi2)-스퍼터링 타겟
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• 니오븀 실리사이드(NbSi2)-스퍼터링 타겟
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• 지르코늄 실리사이드(ZrSi2)-스퍼터링 타겟
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