티타늄 실리사이드(TiSi2)-스퍼터링 타겟

제품 설명

특성

티타늄 디실리사이드(TiSi2)는 무기 화합물입니다.


화학식: TiSi2

몰 질량: 104.038g/mol

외관: 흑색 사방정계 결정

밀도: 4.02g/cm3

융점: 1,470°C(2,680°F, 1,740K)

물에 대한 용해도: 불용성

용해도: HF에 용해


애플리케이션

티타늄 실리사이드는 반도체 산업에서 사용됩니다.일반적으로 로컬 트랜지스터 연결의 시트 저항을 줄이기 위해 실리콘 및 폴리실리콘 라인에 살리사이드 기술을 사용하여 성장합니다.마이크로 전자 산업에서는 일반적으로 C54 단계에서 사용됩니다.


MSDS

티타늄 알루미늄 합금(TiAl(10:90 at%))-스퍼터링 타겟

산화티타늄(Ti4O7)-펠렛

티타늄 하이드라이드(TiH2)-분말

삼황화티타늄(TiS3)-분말

티타늄 탄질화물 (TiCN TiC / TiN (50 / 50 %)) - 스퍼터링 대상

리튬 티타늄(LTO) 산화물(Li4Ti5O12)-분말

지르코늄 티타늄 산화물(ZrTiO4)-분말

하프늄 티타네이트(하프늄 티타늄 산화물)(HfTiO4)-분말