평면 목표 및 회전 목표의 차이점

시장의 공통 스퍼터링 타겟은 주로 비행기 스퍼터링 타겟을 포함하고스퍼터링 대상 회전

평면 표적의 경우, 그 주요 이점은 간단한 구조, 강력한 다양성, 필름 균일 성 및 좋은 반복성입니다. 가장 큰 단점은 일반적으로 약 20 %만이 낮습니다. 일반적으로 광선 영역 (자기 분포 영역)의 표적이 소비 될 때 어느 정도까지, 스트립 모양의 구덩이가 형성 될 것이고, 이는 대상이 얇게 만듭니다. 피트 깊이가 특정 값에 도달하면, 대상은 더 이상 사용할 수 없습니다.

평면 표적과 비교하여 회전 목표의 주요 이점은 그들의 컴팩트 한 구조이며 높은 목표 이용률이며, 회전 목표는 평면 표적의 낮은 이용률의 낮은 이용률 문제를 해결할 수 있음을 의미한다. 또한 회전 표적은 피할 수없는 단점을 갖는다. 스퍼터링시, 표적의 전체 표면에 많은 빛이 흘러 들여지는 연속 스트립 글로우를 형성 할 수 없으므로 필름의 넓은 면적이 코팅되면 필름 표면의 균일 성이 떨어지고 요구 사항을 충족시키는 것이 어렵습니다. 그것은 회전하는 가장 큰 단점입니다.

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