금속 합금
- 몰리브덴 텅스텐 (MoW (90:10 wt %)) - 도가니
- 코발트 철 Gadolinium 합금 (CoFeGd) - 폴더
- 알루미늄 탄탈륨 지르코늄 (AlTaZr (% 33.3 : 33.3 : 33.3)) - 델타 표적
- 니켈 크롬 합금 (NiCr(80:20 wt %)) - 펠렛
- 철 망간 합금 (FeMn) - 초본 표적
- 니켈 크롬 합금 (NiCr) - 와이어
- 니켈 크롬 합금 (NiCr) - 폴더
- 텅스텐 몰리브덴 (W / Mo (90:10)) - 스퍼터링 대상
- 알루미늄 사마륨 합금 (AlSm) - 초본 표적
- 구리 아연 (CuZn (70:30 at %)) - 스퍼터링 대상