희토류 세라믹 스퍼터링 대상
- 산화 스칸듐 (Sc2O3) - 초본 대상
- 산화 시체 산화물 (Pr6O11) - 초본 표적
- 프라세오디뮴 알루미늄 산화 알루미늄 (PAO) (PrAlO3) - 초본 표적
- 네오디뮴 페라이트 (네오디뮴 산화철) (NdFeO3) - 초첨형 표적
- 산화 티타늄 산화물 (CeTiO4) - 초본 표적
- 가돌리늄 티타 네이트 (Gadolinium yoxide) (Gd2Ti2O7) - 초본 표적
- Gadolinium Scandate (GdScO3) - 초본 대상
- Gadolinium 망간 산화물 (GdMn2O5) - 초본 표적
- Gadolinium 니켈 산화물 (GdNiO3) - 초본 표적
- Dysprosium 바나듐 산화물 (DyVox) - 초본 표적