희토류 세라믹 스퍼터링 대상

• 아르븀 불화물 (ErF3) - 초본 표적
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• 디스프로슘 산화물 (Dy2O3) - 초본 표적
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• erbium 산화물 (Er2O3) - 초본 표적
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• YTTERBIUM 산화물 (Yb2O3) - 초본 표적
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• 유로퓸 산화물 (Eu2O3) - 초본 표적
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• 란탄 산화물 (La2O3) - 초본 표적
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• 네오디뮴 산화물 (Nd2O3) - 초본 표적
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• 에르비아는 비스무트 산화물 (Er2O3-Bi2O3) - 초본 표적
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• 탈륨 산화물 (Tm2O3) - 초본 표적
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• 산화 사마륨 (Sm2O3) - 초본 표적
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