AZO Target (알루미나 도핑 산화 아연)

알루미늄 도핑 된 ZnO (AZO) 박막은 유리와 실리콘 웨이퍼, 기판 온도 300 ° C, 전압 18kV 및 에미 터에서 컬렉터까지 거리 6cm에서 두 가지 유형의 기판에 전기 분사하는 경제적 다재다능한 제조 방법으로 증착됩니다. , 탈 이온수, 에탄올 및 아세트산의 혼합물에 용해 된 아연 아세테이트 탈수는 도핑되지 않은 ZnO 필름의 증착에 사용되며, Al- 도핑의 경우 에탄올에 용해 된 염화 알루미늄과 질산 알루미늄의 두 가지 전구체 물질이 선택됩니다. 도핑 수준은 5 및 10wt %이며 필름 특성의 농도 의존성을 조사합니다. 모든 필름은 도핑되지 않은 필름의 경우 21nm에서 각각 5 및 10wt % Al로 도핑 된 AZO (알루미나 도핑 된 산화 아연) 필름의 경우 19nm 및 17nm로 결정자 크기가 감소하는 다결정 구조를 나타냅니다. 도핑 된 샘플의 XRD 피크가 더 높은 회절 각도로 이동하면 Al이 ZnO 격자에 성공적으로 통합되었음을 알 수 있습니다. 광학적 특성은 ellipsometric 및 photoluminescence 측정으로 조사됩니다. 도핑되지 않은 샘플의 경우 1.89에서 굴절률이 각각 5 % 및 10 % AZO (Alumina-doped Zinc Oxide) 필름의 경우 1.84 및 1.83으로 감소하고 광학 밴드 갭이 3.30eV에서 3.40eV로 증가하는 것이 관찰되었습니다. AZO 필름의 경우 면저항의 상당한 감소가 측정됩니다. 각각 5 wt % 및 10 % 도핑 된 샘플의 경우 86 Ω / □ 및 61 Ω / □입니다. 동시에 필름의 투과율은 높게 유지됩니다. 두께가 200nm 인 필름의 가시 범위의 평균값은 도핑되지 않은 필름의 경우 86 %이고 Al 도핑 된 필름의 경우 각각 84 %와 80 %입니다. 따라서, 투명 전도성 전극으로서 연구 된 필름의 적용 가능성이 입증되었습니다.