๋ฒํธ ๊ฒ์ :1 ์ ์ :์ฌ์ดํธ ํธ์ง๊ธฐ ๊ฒ์: 2022-03-08 ์์ฐ์ง :๊ฐํ ๋
๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง ์ฝํ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ
๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง๋ฉ์๋๋ ๊ธ์, ๋ฐ๋์ฒด, ์ ์ฐ์ฒด ๋ฑ ๋ค์ํ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ค๋นํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ๊ฐ๋จํ ์ฅ๋น, ์ฝ๊ฒ ์ ์ด, ๋ํ ์ฝํ ๋ฉด์ , ๊ฐํ ์ ์ฐฉ๋ ฅ ๋ฑ์ ์ฅ์ ์ด ์์ต๋๋ค. ์ผ๋ฐ ์คํผํฐ๋ง ๋ฐฉ๋ฒ์ ์ฅ์ ์ธ์๋ ๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง ๊ฐ๋ฐ๋ฟ๋ง ์๋๋ผ ๊ณ ์, ์ ์จ, ์ ํด์๋๊ฐ ๋ฎ์ต๋๋ค.
์ํ์ ๋ค์ํ ๊ธฐ๋ฅ :ํก์, ์ ์ก, ๋ฐ์ฌ, ๊ตด์ , ํธ๊ด ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ธฐ๋ฅ๊ณผ ๊ฐ์ ์๋ฅผ ๋ค์ด, ์ค๋ฆฌ์ฝ ์งํ๋ฌผ ๋ฐ์ฌ ๋ฐฉ์ง๋ง์ ํ์ ์ ์ง์ ๊ด์ ๋ณํ ํจ์จ์ ํฅ์์ํค๊ธฐ ์ํด ์ ์จ์์ ์ฆ์ฐฉ๋๋ค.
๋ง์ดํฌ๋ก ์ผ๋ ํธ๋ก๋์ค :ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ (CVD)์ ์ฃผ๋ก ์ฌ์ฉ๋๋ ๋น ํซ ์ฝํ ๊ธฐ์ ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ฅ์ ์์ฉ ํ๋ก๊ทธ๋จ :๋ชจ๋ ์ข ๋ฅ์ ์ ์ฒด ๋ฐ์ฌ ํ๋ฆ ๋ฐ ๋ฐํฌ๋ช ํ๋ฆ; ํด๋ ์ ํ ์ผ์ด์ค, ๋ง์ฐ์ค ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์.
ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ (MOCVD)์ ์ ํฉํ์ง ์์ ์ผ๋ถ ์ฌ๋ฃ๋ ๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง์ ์ํด ์ฆ์ฐฉ ๋ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ ๊ท ์ผ ํ ๋์ ์์ญ ํ๋ฆ์ ์ป์ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ธฐ๊ณ ์ฐ์ :ํ๋ฉด ๊ธฐ๋ฅ ํ๋ฆ, ์ด์ฐจ์ฅ ํ๋ฆ, ์์ฒด ์คํ ํ๋ฆ ๋ฑ๊ณผ ๊ฐ์์ด ํ๋ฆ์ ํ๋ฉด ๊ฒฝ๋, ํํฉ๋ฌผ ์ธ์ฑ, ๋ด๋ง๋ชจ์ฑ ๋ฐ ๊ณ ์จ์ ํํฉ๋ฌผ ์์ ์ฑ์ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ๊ฐ์ ํ์ฌ ์ ํ์ ์๋ช ์ ํฌ๊ฒ ํฅ์์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ดํ ๋ถ์ผ :ํ์ ํ๋ ๋น ํํ ๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ๊ดํ ํ๋ฆ (์ : ๋ฐ์ฌ ๋ฐฉ์ง ํ๋ฆ), ์ ๋ฐฉ์ฌ ์ ๋ฆฌ ๋ฐ ํฌ๋ช ์ ๋์ฑ ์ ๋ฆฌ์๋ ์ ์ฉ๋์์ต๋๋ค. ํนํ, ํฌ๋ช ํ ์ ๋์ฑ ์ ๋ฆฌ๋ ํ๋ซ ํจ๋ ๋์คํ๋ ์ด ์ฅ์น, ํ์ ์ ์ง, ์ ์ ๋ ์ธ์ง ๋ฐ RF ์ฐจํ ์ฅ์น ๋ฐ ์ฅ์น, ์ผ์ ๋ฑ์์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ํ๋ฆ, ๊ฐ์ ์ ์ฑ ๋ฐ๋ง, ๊ฑฐ๋ํ ์๊ธฐ ์ ํญ ๋ฐ๋ง, ๋ฐ๋ง ๋ฐ๊ด ์ฌ๋ฃ, ํ์ ์ ์ง, ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ํฉ๊ธ ๋ฐ๋ง.