마그네트론 스퍼터링메소드는 금속, 반도체, 절연체 등 다양한 재료를 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 간단한 장비, 쉽게 제어, 대형 코팅 면적, 강한 접착력 등의 장점이 있습니다. 일반 스퍼터링 방법의 장점 외에도 마그네트론 스퍼터링 개발뿐만 아니라 고속, 저온, 저해상도가 낮습니다.
영화의 다양한 기능 :흡수, 전송, 반사, 굴절, 편광 및 기타 기능과 같은 예를 들어, 실리콘 질화물 반사 방지막은 태양 전지의 광전 변환 효율을 향상시키기 위해 저온에서 증착된다.
마이크로 일렉트로닉스 :화학 기상 증착 (CVD)에 주로 사용되는 비 핫 코팅 기술로 사용할 수 있습니다.
장식 응용 프로그램 :모든 종류의 전체 반사 필름 및 반투명 필름; 휴대 전화 케이스, 마우스 등과 같은.
화학 기상 증착 (MOCVD)에 적합하지 않은 일부 재료는 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착 될 수 있으며, 이는 균일 한 넓은 영역 필름을 얻을 수 있습니다.
기계 산업 :표면 기능 필름, 초차장 필름, 자체 윤활 필름 등과 같은이 필름은 표면 경도, 화합물 인성, 내마모성 및 고온의 화합물 안정성을 효과적으로 개선하여 제품의 수명을 크게 향상시킬 수 있습니다.
광학 분야 :폐쇄 필드 비 평형 마그네트론 스퍼터링 기술은 또한 광학 필름 (예 : 반사 방지 필름), 저 방사 유리 및 투명 전도성 유리에도 적용되었습니다. 특히, 투명한 전도성 유리는 플랫 패널 디스플레이 장치, 태양 전지, 전자 레인지 및 RF 차폐 장치 및 장치, 센서 등에서 널리 사용됩니다. 필름, 강유전성 박막, 거대한 자기 저항 박막, 박막 발광 재료, 태양 전지, 메모리 합금 박막.
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